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先进传感器与智能检测实验室建设

本项目计划采购可用于各类气体、湿度、光电等传感器测试平台，其中包括：光电气综合测试平台一套，数字式动态配气系统一套，小型磁控溅射机一台，小型涂布机一台。 光电气综合测试平台可用于毫米级别敏感材料或器件（传感器、探测器、晶体管等）在不同环境条件（温度、湿度、气氛、光照等）激励下的原位测试及综合特性分析。温控系统可实现室温~500℃连续可调；分辨率/稳定度：0.2 ℃；电流范围：100pA~200 mA；电阻测量范围：1Ω~10GΩ；电压范围：±200mV~±10V；测试模式：I-t，R-t，V-t，I-V，V-I等；支持多信号如温度、湿度、压力等信号与电学信号同步采集；配置静态配气模块1个，支持液体蒸发温度室温~200℃，内置有高精度温湿度传感器1个，配置液体蒸发配气小软件1套。 数字式动态配气系统可用于为传感器提供精准的气氛和湿度氛围，支持直接使用各类气体气源（如 NOx、H2S、CO 等）的动态配气。系统配置控湿模块，既可单独进行湿度控制，也可用于配置不同湿度的各种气体。气路通道包括1路背景气路、1路快切气路、2路目标气体气路；2路湿气气路（干气和湿气）；干气气路：满量程1 slm，控制范围2%~100%（20 sccm~1000 sccm）；湿气气路：满量程1 slm，控制范围2%~100%（20 sccm~1000 sccm；湿度控制：范围2%RH~90%RH；精度：±0.8%RH，稳定度0.1%RH（RT标定），湿度模块内置有高精度温湿度传感器，支持自调节，支持对气体控湿；提供标准传感器接口和微型传感器测量腔：体积48mL，动态气氛切换快；配置全自动控制软件，支持多段气体流程配气，支持浓度和流量两种模式，内置气体参数≥160种。小型磁控溅射机要求：直流溅射电源，最大功率≤1000W，溅射真空≤10Pa；样品台可旋转，含机械泵。小型涂布机要求：涂布厚度：0.005-5MM（湿膜），刮涂精度：0.003mm，0.001mm线棒，室温~160度（可恒温）。另外，测试系统配备防静电实验台两套、高性能计算机一台。 免费质保期不少于1年，供货期30日。

692600.00

2022年10月

是