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产学研融合铸“中国晶” 自主创新竞跑“芯”征程

—专访电子工程系副教授、山西天成科技副总仝晓刚
时间:2026-04-28 来源: 宣传部(统战部) 浏览量:

电子工程系仝晓刚副教授的办公桌上,一块银灰色14英寸碳化硅单晶锭静静陈列,镜面切面泛着冷冽金属光泽。这块2026年3月团队攻克的全球首块14英寸碳化硅单晶,有效厚度达到30毫米。这是继去年团队实现12英寸N型碳化硅单晶材料和12英寸高纯半绝缘碳化硅单晶材料两项突破后,再次刷新国内行业纪录,一举改写全球大尺寸第三代半导体材料竞争格局。

作为兼具高校副教授与企业科技副总双重身份的产学研带头人,他并未沉溺于技术突破的光环,而是从太原工业学院2020年设立微电子专业的初心切入,坦言这块“中国晶”的诞生绝非孤军奋战的奇迹,而是高校科研资源与企业产业需求双向奔赴、深度融合的必然,更是应用型本科院校扎根地方、服务国家战略,以产学研协同助力自主创新的生动实践。

从实验室到生产线:把论文写在半导体产业主战场

“第三代半导体是国家战略性新兴产业的核心赛道,而大尺寸碳化硅单晶生长技术,就是这条赛道上的‘卡脖子’关口之一。”他告诉记者,碳化硅材料凭借耐高温、耐高压、高频高效的特性,是新能源、高端装备、半导体制造等领域的关键基础材料,而更大尺寸的单晶,意味着更低的芯片制造成本、更强的产业话语权。这条从8英寸到14英寸的跨越之路,每一步都踩着产业需求的鼓点,每一步都印着校企协同的足迹。

“我们和山西天成的合作,从一开始就不是‘高校出技术、企业出钱’的简单模式,而是真正把企业的痛点当成了我们的研究课题。”仝晓刚回忆,2023年双方以8英寸长晶装备横向课题开启合作,2024到2025年紧跟市场需求完成12英寸导电型、半绝缘型双路线装备研制与工艺验证,最终在2026年3月,历经三个月集中攻关,啃下了14英寸碳化硅单晶这块“硬骨头”。

谈及核心突破的秘诀,仝晓刚打了一个生动的比方:“碳化硅单晶生长,就像在真空高温的密闭腔体里‘蒙眼绣花’,要在300多个小时里,让硅原子和碳原子在2000℃以上的环境中,精准有序地排列在子晶表面,堪比在头发丝上建一座城市。”他坦言,业内常把长晶试验叫“开盲盒”,稍有不慎就前功尽弃,而团队能实现突破,核心就是把热场控制理论和数值模型,和企业一线的工艺经验焊在了一起。

“团队的科研人员有扎实的理论积累,能把热场温度梯度的控制逻辑算透、模型建准;企业有丰富的工程经验,能把理论模型转化为可落地的工艺参数。二者缺一个,都走不到今天。”仝晓刚说,这项成果不仅实现了尺寸的全球领跑,更带来了产业质的飞跃:30mm以上的晶锭厚度全球唯一,单锭可切出约25片晶圆,出片率、良率行业领先;用它制成的半导体设备零部件,使用寿命从传统硅/石英材料的1-3个月跃升至3年,直接为国产半导体设备降本增效按下了“快进键”,筑牢了产业链自主可控的关键一环。

从课堂到车间:打通应用型人才培养的“最后一公里”

“一直以来,我们学校把立德树人放在首位,深耕地方区域、服务行业产业,我们育人的目标,就是为区域经济社会发展培养能干事、可担当的应用型人才。”在仝晓刚看来,自己能顺利推进产学研融合,离不开学校的大力支持。“学校始终把校企协同育人作为落实‘为党育人、为国育才’初心使命的一项重要举措,从政策、资源等各方面给予保障,让我们能放心地把科研与育人结合起来,让产学研融合既有技术创新的突破,也能守住育人育才的根本,真正实现两者双向赋能、共同发展。”

2020年,太原工业学院设立微电子专业,教学体系覆盖材料生长、前道工艺、后道封装全链条,同时在三代半导体器件化应用方向持续积累科研底蕴,为校企协同育人打下了坚实基础。2025年,仝晓刚牵头获批山西省博士创新站,以此为平台,从学校遴选了6名涵盖测控技术、信号处理、微电子工艺等方向的博士教师,加入了核心研发团队。

“这个团队,既是科研攻关的先锋队,也是教书育人的排头兵。”仝晓刚笑着说,团队里的博士们,既要泡在企业的实验室里调参数、解难题,也要站在学校的讲台上给学生上课、带实训,把产业一线最鲜活的案例,第一时间带进课堂。

这套育人体系,最核心的突破,就是打破了校园与企业的“围墙”。仝晓刚详细介绍到,2023年起,团队先组织学生进入企业测试岗位实习,让学生提前触摸产业真实场景;2024年升级为“毕业设计题目与企业实习贯通”一体化模式,大四学生带着校企双导师共同拟定的、贴合产线实际的课题进企业,边实习边做毕业设计,毕业即能无缝衔接岗位。

“以前学生的毕业设计,很多是在实验室里、书本上找题目,和产业实际脱节。现在我们是‘企业出题、学生解题、成果落地’,学生在实习中解决的,就是企业真实存在的技术问题。”仝晓刚说,截至目前,已有约10名微电子专业毕业生通过这套模式进入企业研发、生产核心岗位,并且全部留用,逐步成长为企业的技术骨干。

与此同时,校企双方共建《半导体工艺与原理》核心课程,建立企业导师常态化授课机制,每年邀请企业工程师进校授课,把产线的设备原理、工艺痛点、技术前沿直接搬进课堂。“我们要让学生在校期间,就看清产业发展的方向,摸透岗位需要的能力,真正实现‘上学能上岗、毕业即就业’。” 仝晓刚说。

从跟跑到领跑:以双向赋能筑牢产业报国的根基

“很多人问我,校企合作到底给学校带来了什么?我的答案是,这是一场双向奔赴、双向赋能的共赢。”仝晓刚深有感触地说,真正的产学研融合,从来不是高校向企业的单向技术输出,而是“产业出题—高校答题—成果回哺—能力跃迁”的可持续循环。

这份反哺,首先体现在教学根基的持续夯实。仝晓刚介绍到,团队把14英寸单晶生长工艺、热场控制模型、装备研发全流程这些前沿实践,直接转化为教学案例和实验资源,让学生不出校园,就能接触到全球领先的半导体技术,极大拓宽了学生的科技视野,也让应用型人才培养有了最扎实的现实根基。

更深远的反哺,体现在助力学校科研实力的跃升。“作为地方应用型本科院校,我们这些科研工作者始终锚定科创发展目标、坚持创新驱动发展,持续深耕学科建设与科研提质。而校地企、校政企多方联动的深度合作模式,是加速学校科研升级、赋能内涵发展的强劲引擎。”仝晓刚坦言,依托此次14英寸碳化硅单晶重大创新成果,学校联动地方政府、龙头企业,整合政策资源、产业资源与科研资源,接下来将联合申报山西省重点研发计划、太原市“揭榜挂帅”及国家级战略需求项目。这一协同格局,既巩固了企业核心技术领先优势,也为学校教师明晰了科研主攻方向,推动科研理念深刻转变,彻底摆脱单一论文导向,稳步实现从理论研究到成果转化的贯通发展,完成“理论建模—工艺验证—装备落地”全链条科研综合实力的整体跃升。“以前很多老师做研究,是为了发论文而做研究;现在,大家是盯着产业的痛点、国家的需求做研究,论文写在了生产线上,成果用在了产业发展中,这是我们做科研最核心的价值。”仝晓刚说。

谈及未来的规划,仝晓刚的目光再次落回了桌上的碳化硅晶锭。“这块14英寸的晶体,不是终点,而是新的起点。下一步我将带领团队立足产业长远发展与区域科创布局,紧扣半导体产业升级需求,持续补强机械设计、自动化控制等领域人才力量,依托校地企协同优势,持续攻关更大尺寸、更高良率、更优性能的碳化硅长晶技术,以硬核科创成果赋能地方产业提质增效、助力区域经济高质量发展。”

“第三代半导体这条赛道,国际竞争异常激烈,我们慢一步,就可能被拉开差距。”仝晓刚的语气坚定而有力,“我们这代科研人、教育人,就是要把核心技术牢牢掌握在自己手里,用自主创新为国产半导体产业保驾护航,为山西坚定有序推进转型发展,为培育新质生产力、实现高水平科技自立自强,交出一份来自太原工业学院的答卷。”

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